无锡德偲公司
Product Center
产品中心
共建半导体设备国产化生态 专业Chiller/Heat Exchanger维修服务商
双通道Chillers
双通道独立控温 -45~+90℃宽温度控制 ±0.01℃高精度控温 应⽤于光刻、刻蚀、薄膜沉积、探针台等 高精度控温 | 智能节能控制 | 安全可靠 双通道半导体温控装置Chiller 具备单独的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等，采用独立的两套系统，根据所需的温度范围选择采用蒸汽压缩制冷，或者采用ETCU无压缩机换热系统，系统可通用膨胀罐、冷凝...
详细信息
三通道Chillers
三通道独立控温 -45~+100℃宽温度控制 ±0.01℃高精度控温 应⽤于光刻、刻蚀、薄膜沉积、探针台等 强大兼容 | 更高节能 | 安全可靠 | 灵活安装 | 智能操作 半导体温控装置Chiller 半导体温控装置Chiller 主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、...
详细信息
面板Chillers
双通道独立控温 +15~+30℃宽温度控制 ±0.1℃高精度控温 应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜⼯艺等 ⼤流量⾼负载 | 智能节能控制 | 全⾃动补液与⽔质管理 半导体温控装置面板Chiller 设备支持⼤流量⾼负载，确保极端⼯况下持续稳定运⾏；支持冷却⽔动态调节系统，可根据环境温度与设备热负荷，实时调节⽔温。 独特的产品设计方案 两级团环智能节...
详细信息
