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采用复叠制冷，制冷速度快、温度低
-100~+100℃宽温度控制
±0.01℃高精度控温
应⽤于光刻、刻蚀、薄膜沉积、探针台等
复叠制冷 | 制冷速度快 | 智能节能控制 | 控温精度高
单通道半导体温控装置Chiller
整机设计符合SEMI S2-0821设计标准，⽀持⾮标定制，⽀持PC远程控制，系统可通用膨胀罐、冷凝器、冷却水系统等，可以有效减少设备尺寸，减少操作步骤。
独特的产品设计方案
主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度。
无锡德偲公司
