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三通道独立控温
-45~+100℃宽温度控制
±0.01℃高精度控温
应⽤于光刻、刻蚀、薄膜沉积、探针台等
强大兼容 | 更高节能 | 安全可靠 | 灵活安装 | 智能操作
半导体温控装置Chiller
半导体温控装置Chiller 主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度。
独特的产品设计方案
chiller 的排吸气温度（压力）、冷凝温度、冷却水温度（压力）、进出液体（气体）温度（压力）、用电功率、各部件电流、电压、水箱液位等重要信息均通过传感器接入控制系统进行全面管理监控记录。
无锡德偲公司
