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双通道独立控温
+15~+30℃宽温度控制
±0.1℃高精度控温
应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜⼯艺等
⼤流量⾼负载 | 智能节能控制 | 全⾃动补液与⽔质管理
半导体温控装置面板Chiller
设备支持⼤流量⾼负载，确保极端⼯况下持续稳定运⾏；支持冷却⽔动态调节系统，可根据环境温度与设备热负荷，实时调节⽔温。
独特的产品设计方案
两级团环智能节能控制，减少⽆效能耗；
全⾃动补液与⽔质管理，缺液时⾃动补液，误差范围±1.5%；
符合三通道⼯艺设计要求，确保信号/流体的独⽴传输与精准控制。
需求偏好
无锡德偲公司
